與TC-12、TC-8、TC-4型加熱卡盤區(qū)別在卡盤尺寸上，同樣使用熱電(致冷)晶片，可搭水冷機(jī)或冰水機(jī)冷卻系統(tǒng)。

參數(shù)信息：

圓形，尺寸：150x150mm 標(biāo)準(zhǔn)6寸設(shè)計(jì)
溫度范圍：室溫至200℃或選擇300℃
熱傳感器控制
獨(dú)立的真空通道可放置不同尺寸晶圓樣品

面板式控制系統(tǒng)

搭配循環(huán)式冷卻系統(tǒng)，可與本公司設(shè)計(jì)的電磁閥開關(guān)搭配，可受溫控裝置控制，操作方便，一體化設(shè)計(jì)

選型說明：

真空吸附加熱、低溫卡盤chcuk根據(jù)用戶高溫或低溫環(huán)境要求提供配置，高溫范圍可達(dá)500℃，選型根據(jù)卡盤尺寸，形狀，溫度范圍，冷卻裝置等選配。