詳細介紹
標準型探針臺
可兼容DC測試、射頻、高頻、微波測試
直流到高頻
產品特點:
結構設計靈巧,價格經濟,維護方便
XY平臺調節,Z軸快速升降
可搭配體式顯微鏡或單筒視頻顯微鏡
探針座可根據移動精度選擇,吸附方式可選磁吸或真空吸附
產品規格:
組件/型號 | EPS4 |
顯微鏡配置 | 三目體式顯微鏡 倍率10X-300X |
真空吸附卡盤 | 4寸不銹鋼 |
主體平臺XY移動行程 | 75mm*75mm |
旋轉角度 | 0-30O |
Z軸行程 | 5mm |
探針臺本體 | 固定式 |
可放置樣品尺寸 | 5mm*5mm至4寸 |
真空卡盤平坦度 | 10um |
尺寸 | 350mm*360mm*400mm |
重量 | 20kg |
配置可選項:
* 單筒視頻顯微鏡
* 真空吸附加熱卡盤(溫度:200℃/300℃或其它)
* 可選擇低溫制冷卡盤
* 低溫罩箱(用于充入氮氣低溫制冷)
* 客戶定制化移動平臺
* 各類DC探針、高頻探針、電纜線等…
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
* 各類探針夾具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 適配器
* 轉接頭
* 電學測試設備
* 可選擇安裝旋鈕式360度載物平臺及Z軸高精度微調裝置