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詳細介紹
SP150 DC/HF半自動量測探針臺
可兼容DC測試、射頻、高頻、微波測試
直流到高頻
可兼容DC測試、射頻、高頻、微波測試
直流到高頻
結合多年的探針臺量測設備經驗所開發出更方便更有效率的量測系統，高完整性廣泛應用于Semiconductor、LED/MEMS等各領域…
半自動量測探針臺特點：
自動XYZ移動平臺
搭配R軸手動校正
精確配合打點器操作
可輸入移動座標及移動間距
6"真空吸附卡盤(4“、8“等其它尺寸選)
產品規格：
XY平臺行程：150mm*150mm
速度：50mm/sec
分辨率：0.5μm
精度：<10μm
重復定位精度：<5μm
Z軸行程：5mm
速度：10mm/sec。
分辨率：1.5μm
精度：<10μm
重復定位精度：<5μm
外形尺寸：
寬度：700mm
高度：700mm
長度：800mm
重量：65kg
![手動探針臺EPS[T型]標準](https://img80.zyzhan.com/24e8f035994b740a9e0925c9dd7b0e87c7579ec52a8e308071281dd41babbcb1de3c304d76647101_100_100_5.jpg)
![標準手動探針臺SPS6[T]型](https://img77.zyzhan.com/24e8f035994b740a9e0925c9dd7b0e87812b28a2231924b74d4189e8d1e39d3fbbf6c0f6c05ebbf0_100_100_5.jpg)
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