直流到高頻

高低溫探針臺參數：

外形尺寸 ( W / D / H ) : 600mm X 500mm X 600mm

重量 : 80kg

卡盤尺寸：6" 加熱卡盤(4寸可選)

溫度范圍： -30 degreeC ~ 200 degreeC

溫度說明：可根據用戶需求選擇300degreeC加熱卡盤或低溫溫度范圍選擇，低溫可達-100 degreeC

Platen板可移動范圍 : 500mm

顯微鏡XY調節 : 25mm X 25mm

卡盤XY行程調節 : 150mm X 150mm

配置可選項：
* 體式顯微鏡/高倍率超長工作距離視頻顯微鏡
* 真空吸附加熱卡盤（溫度：200℃/300℃或其它）
* 卡盤尺寸可選：4"/6"
* 可選低溫卡盤
* 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
* CCD或C-MOS視頻成像裝置
* 各類探針夾具
* *真空泵
* 屏蔽箱
* 防振桌
* 適配器
* 轉接頭
* 電學測試設備
* 探針臺其它外圍組件