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詳細介紹
6寸方形加熱/低溫卡盤 TE-150型
與TE-50型 2寸方形卡盤相同，6寸加熱卡盤使用熱電(致冷)晶片，可搭水冷機或冰水機冷卻系統(tǒng)。
參數(shù)信息：
方形，尺寸：150x150mm
溫度范圍-10℃至120℃
熱傳感器控制
獨立的真空通道可放置不同尺寸晶圓樣品
面板式控制系統(tǒng)
搭配循環(huán)式冷卻系統(tǒng)，可與本公司設計的電磁閥開關搭配，可受溫控裝置控制，操作方便，一體化設計
選型說明：
真空吸附加熱、低溫卡盤chcuk根據(jù)用戶高溫或低溫環(huán)境要求提供配置，高溫范圍可達500℃，選型根據(jù)卡盤尺寸，形狀，溫度范圍，冷卻裝置等選配。
![手動探針臺EPS[T型]標準](https://img80.zyzhan.com/24e8f035994b740a9e0925c9dd7b0e87c7579ec52a8e308071281dd41babbcb1de3c304d76647101_100_100_5.jpg)
![標準手動探針臺SPS6[T]型](https://img77.zyzhan.com/24e8f035994b740a9e0925c9dd7b0e87812b28a2231924b74d4189e8d1e39d3fbbf6c0f6c05ebbf0_100_100_5.jpg)
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