詳細介紹
8寸方形加熱卡盤 TC-8型
與TC-12、TC-6、 TC-4型加熱卡盤區別在卡盤尺寸上,同樣使用熱電(致冷)晶片,可搭水冷機或冰水機冷卻系統。
參數信息:
圓形,尺寸:8寸
溫度范圍:室溫至200℃或選擇300℃
熱傳感器控制
獨立的真空通道可放置不同尺寸晶圓樣品
面板式控制系統
搭配循環式冷卻系統,可與本公司設計的電磁閥開關搭配,可受溫控裝置控制,操作方便,一體化設計
選型說明:
真空吸附加熱、低溫卡盤chcuk根據用戶高溫或低溫環境要求提供配置,高溫范圍可達500℃,選型根據卡盤尺寸,形狀,溫度范圍,冷卻裝置等選配。