製品概要
此泵基于新的設計,提供功能以改善熱管理,從而增強在嚴苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。
它設計成既可以處理溫和的應用,也可以處理嚴苛的應用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和優勢
- 的轉子設計
- 改進的氬氣性能
- 同類產品中抽速高
- 寬的制程范圍
- 在較低壓力下具有較高的吞吐量
- 免維護
- 可用于嚴苛制程
- 5 軸磁懸浮系統
- 無污染
- 低振動
- 高度
- 經優化的溫度分配
- 低沉積
- 內置冷卻機械裝置
- 更高的氣體吞吐量
- 使用壽命延長
-
- 符合標準
- 列于 UL 中,具有 CE 標記,符合 SEMI® S2
數據
入口法蘭尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
前級抽氣口尺寸 | KF40 |
抽速 | |
N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
| (取決于具體型號) |
H2 | 2500 ls-1 |
壓縮比 | |
N2 | >108 |
H2 | 6 x 103 |
極限壓力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
大允許前級壓力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
大允許氣體流量 N2 (僅水冷卻) | 2800 sccm |
| 4.73 Pam3s-1 |
大允許氣體流量 Ar (僅水冷卻) | 2150 sccm |
| 3.63 Pam3s-1 |
額定速度 | 24000 rpm |
運轉到 90% 額定速度的時間 | 12 分鐘 |
固定位置 | 任何方向 |
水冷卻 | |
流量 | 3 lmin-1 |
溫度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
壓力 | 0.3 MPa |
的吹掃氣體流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
輸入電壓 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
大輸入功率(不帶 TMS) | 1.5 KVA |