IB-09060CIS™ 低溫冷凍離子切片儀
易受熱損傷的樣品，也能方便地制作出薄膜樣品和截面樣品。冷卻保持時間長，有效地抑制了熱損傷。
· 產品規格
| IB-09060CIS | ||
離子加速電壓 | 1 ～ 8kV | ||
傾斜角 | ±6º(0.1º/步) | ||
離子束直徑 | 500μm(FWHM) | ||
研磨速率 | 5μm/min(加速電壓:8kV、Si換算) | ||
使用氣體 | 氬氣 | ||
樣品尺寸 | 2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度) | ||
樣品冷卻 | 樣品架冷卻溫度 | -120℃ | |
冷卻到達時間 | 1小時 | ||
冷卻保持時間 | 8小時 | ||
樣品取出時間 | 30分鐘 | ||
壓力測試 | 潘寧規 | ||
主抽真空系統 | 渦輪分子泵 | ||
CCD相機 | 內置 | ||
尺寸 重量 | 主機 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg | |
機械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | ||
液晶顯示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | ||
· 安裝條件
| IB-09060CIS |
電源 | 單相100 ～ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ～ 0.6kVA |
接地線 | 獨立地線(100Ω以下) |
氬氣 | 使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm²) |
室溫 | 20 ～ 25℃ |
濕度 | 60% 以下 |
· *產品外觀及技術規格可能未經預告而有所變更。
產品特點：
· 帶有樣品冷卻系統，對容易受熱損傷的樣品也可以進行截面制備的離子切片儀。
· ①通過液氮制冷，減輕了離子照射時對樣品造成的熱損傷。
· ②可以用于制備TEM的薄膜樣品和SEM的截面樣品*
· ③冷卻保持時間長，大大減少了熱損傷。
· ④在裝有液氮的情況下，也可以交換樣品。
· *樣品尺寸:2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度)。
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